3Dスタックデバイスの製造工程におけるTSV内レジスト成膜に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: F34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.155.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

3Dスタックデバイスの製造工程におけるTSV内レジスト成膜に関する研究

第2報：TSVパターンのナノインプリント転写による計測と応用

*土肥俊郎, 大坪正徳, 黒河周平, 大西修, 畝田道雄, 宮地計二, 清家善之, 丸山健治, 小谷卓司, 大橋健

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キーワード: ナノインプリント, TSV, 計測法, レジスト成膜

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抄録

本研究ではナノインプリント技術の計測法への応用として，TSVパターンの転写計測を試みた結果を述べる．

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© 2011 公益社団法人精密工学会

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