従来，研磨の化学的作用についての研究は存在したが，化学的作用と機械的作用を統合的に扱った研究はあまり存在しない．そこで我々はセリア砥粒によるガラス系材料の研磨の機構を化学的作用と機械的作用の観点から解明を試みることにした．先報までにセリア砥粒の場合，砥粒径と研磨レートの相関性が低く，砥粒径と表面粗さとの間の相関性は比較的強いことが判明した．また，化学的作用の調査のために研磨前後の砥粒のXPS測定とFT-IR測定を行ない，研磨後のセリア砥粒にはシリカが付着している事が判明し，研磨後のチタニア・ルチル砥粒にも微量のシリカが付着している可能性を見出した．本報ではジルコニア砥粒での試験を行ない，研磨後のジルコニア砥粒にも微量のシリカが付着している可能性を見出した．
