デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究

畝田 道雄; 村田 慎太郎; 山崎 努; 大西 修; 黒河 周平; 石川 憲一; 土肥 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.167.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: F44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.167.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究

畝田道雄, *村田慎太郎, 山崎努, 大西修, 黒河周平, 石川憲一, 土肥俊郎

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キーワード: スラリーフロー, デジタル画像相関法, スラリー流入, スラリー排出, 定量評価

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抄録

本研究では精密研磨におけるスラリーフローの解明とそれに及ぼす各種因子の影響検討を目的として，デジタル画像相関法によるスラリーフローの計測結果に基づく定量的評価を行っている．本報告ではラッピング用スラリーフローを対象として検討することを通じて，接触界面におけるスラリーフローに及ぼす工作物と定盤の相対位置，並びに接触界面へのスラリーの流入・排出位置に関して検討した結果を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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