精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会秋季大会
セッションID: F46
会議情報

酸化物光学結晶のCMPにおける研磨メカニズム
*古賀 慎二土肥 俊郎黒河 周平大西 修畝田 道雄松川 洋二李 学昌松廣 啓治
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
本研究では酸化物光学結晶であるニオブ酸リチウム(LN;LiNbO3)およびタンタル酸リチウム(LT;LiTaO3)の高能率かつ高品質な研磨加工条件の確立を目的としている.本報告ではダイヤモンドスラリーとコロイダルシリカスラリーを用いるとともに,他の難加工材料との研磨結果を比較することによって,LNおよびLTの研磨メカニズムを,加工レート,表面形状および表面粗さなどの観点から検討した結果を述べる.
著者関連情報
© 2011 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top