CeO₂-ZrO₂-Y₂O₃ナノ複合砥粒のガラス研磨特性

抄録

ガラス研磨において、酸化セリウムは高い化学反応性と適度な硬度を両立する優れた材料である。我々は、化学反応性と機械特性にそれぞれ特化した材料をナノレベルで分散することにより、優れた化学機械研磨特性を有する砥粒の実現を目指している。本研究ではCeO₂-ZrO₂-Y₂O₃ナノ複合砥粒を合成し、ガラス研磨特性を調べた。その結果、酸化セリウム系既存砥粒と比べ研磨速度は若干低いものの、同等以上の表面平滑性が得られることがわかった。