酸化物単結晶LiTaO3ウエハの高平坦化加工

須藤 正昭

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.35.0

抄録

口径４インチのリチウムタンタレートのウエハ工程に研削加工を適用し，ウエハ平坦度3μｍTTV以下を実現した．研削加工で平坦形状を作り込み，かつ破砕層深さを最小にし，その後のポリシング除去量を低減したことでウエハ平坦度は向上した．研削加工では目詰まりと目潰れが共存する現象を示すことから，砥石の粒度選定やドレッシングの適正化が重要になってくることを明らかにした．

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