超高速マイクロロボットによるオンチップ細胞操作

磁気駆動マイクロロボットの三次元表面化による流体摩擦低減

抄録

本稿では磁気で駆動するマイクロロボット表面にリブレット形状を付与することで流体摩擦の低減を行い、超高速領域においても安定した精度を達成したので報告する。流体摩擦を最少に抑えるための最適なリブレット形状を算出し、シリコンの異方性エッチング、DRIEを用いて本リブレット付きマイクロロボットの製作を達成した。これにより高速領域において従来とより8倍以上の精度向上を達成し、細胞凝集体の高速アセンブリを達成した。