数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si（111）二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工（第6報） ガス流体解析を用いた表面粗さ生成要因の考察

細田 真央; 永野 幹典; 山本 悠人; 畑 裕輝; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.483.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: I81

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.483.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si（111）二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工（第6報）

ガス流体解析を用いた表面粗さ生成要因の考察

*細田真央, 永野幹典, 山本悠人, 畑裕輝, 山村和也

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キーワード: 二重湾曲分光結晶, ヨハンソン型, 大気圧プラズマ, プラズマCVM, 蛍光X線分析, 集光

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抄録

ヨハンソン型二重湾曲分光結晶は，入射X線の集光と単色化を同時に行う素子である．我々は単結晶Si製分光結晶の加工法として，非接触な化学的無歪加工法である大気開放型数値制御プラズマCVMを用い，高精度でダメージフリーな曲面加工に成功している．加工後の表面粗さは悪化する傾向にあり，ガス流速ベクトルの変化や外気との反応が原因として挙げられる．本報ではガスの流体解析を行い，表面粗さ悪化の原因について考察した．

責任著者(Corresponding author)

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