有限要素法による薄膜材料のひずみ解析

尾崎 秀次; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.513.0

抄録

著者らはマイクロポンプ用アクチュエータとしてスパッタリング法により形状記憶合金の開発を行っている．創製した薄膜は形状記憶特性等の点で結晶粒径の大きなものが求められ，結晶粒径は基板，薄膜材料間の格子不整合率に起因するひずみに影響されるが，薄膜材料におけるひずみ解析事例は少ない．そこで本研究では，ひずみ制御による薄膜の単結晶化を目指した有限要素法を用いたひずみ解析手法を提案する．

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