コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索

抄録

Zr基バルク金属ガラスはこれまでマイクロ材料としては注目されてこなかったが、MEMS用構造材料としても期待できる特性を持つ。本研究ではZr-Ni-Al合金を取り上げ、コンビナトリアル法を用いた組成探索を試みた。３源スパッタ装置で作製した薄膜ライブラリを評価した結果、Zr:Ni:Al=40:30:30付近の組成を持つ薄膜は結晶化温度が550℃以上の安定した非晶質相であることが明らかとなった。