C₆₀強化Alナノコンポジット薄膜の作製及び評価

抄録

本研究は薄膜内部にナノパーティクルを分散させ高機能化させる、ナノコンポジット薄膜技術の確立を目指す。今回はその可能性を明確にさせる為に母材としてAl、強化材としてナノパーティクルカーボン材料C₆₀を選択し真空蒸着法により成膜を行う。組成分析及び表面構造の解析により薄膜作製を確認し、硬度は混合比C₆₀1wt%においてAlの3倍の硬度を示したことから機械的特性の向上において有効な手法であると考えられる。