大気開放下におけるプラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング 過酸化物ラジカルの存在形態と無電解銅めっき膜の密着強度の相関

大岡 健人; 秋山 弘貴; 山本 悠人; 是津 信行; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.537.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: J47

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.537.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

大気開放下におけるプラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング

過酸化物ラジカルの存在形態と無電解銅めっき膜の密着強度の相関

*大岡健人, 秋山弘貴, 山本悠人, 是津信行, 山村和也

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キーワード: 大気圧プラズマ, 無電解銅めっき, テフロン, グラフト, 接着, 自己組織化

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抄録

我々は次世代高周波材料として期待されているフッ素ポリマー表面への銅メタライジングの開発を進めてきた．大気圧プラズマプロセスとナノレベルの自己組織化プロセスを組み合わせた大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いることにより，フッ素ポリマー表面の平滑性を維持したまま高密着性銅メタライジングを実現してきた．本研究では，プラズマ処理後，フッ素ポリマーに形成される過酸化物ラジカルの構造と無電解銅めっき膜の密着強度の相関を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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