薄膜ネオジム磁石を用いたマイクロリニアモータ

抄録

スパッタによりNdBFeとTaを交互に積層した薄膜ネオジム磁石を用いたムービングマグネットタイプのリニアモータを試作した．4×4×0.27mmのシリコン製の移動体下面に3.6×0.4×0.006mmの永久磁石が等間隔で５つ配置されている．移動体側面に，ウエットエッチングによりV溝を加工し，すべり案内としている．試作デバイスでは，36mmのストローク，最高速度1m/s，最大加速度26.0m/s²を達成している．