MCF(磁気混合流体)ホイールを用いた石英ガラスの研磨に関する研究

磁場解析に基づく最適ホイール構造の検討

抄録

本研究は，MCF(磁気混合流体)スラリーを円形の永久磁石外周面に付加させたMCFホイールにより，高能率な超精密研磨を実現できる技術の開発を目指している．特に，永久磁石が形成する磁場形状，磁束密度の強さをシミュレーションにより解析し，最適なホイール構造について明らかにした．さらに，解析結果に基づき石英ガラスの研磨実験を行い，高能率研磨の可能性について検討したので報告する．