３波長位相シフト法による光干渉方式表面形状測定装置の開発

抄録

筆者らは、これまでに、キャリア縞導入方式の３波長ワンショット干渉計測法を開発し、測定レンジを４μmまで拡張するとともに、インクジェット方式カラーフィルタ基板用の自動膜厚測定装置を実用化した。本研究では、その光学系や測定アルゴリズムを利用して、３波長位相シフト法による表面形状測定装置を開発した。ワンショット法に比べ、水平分解能や測定精度が優位である。