振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測

抄録

垂直走査型白色干渉顕微鏡を用いた位相シフト法は高精度3次元形状計測に用いられる．しかし，この測定法は外部振動に大きく影響を受けるため，特殊な環境でしか測定できなかった．原因は対象物を設置するステージの位置が不規則に変化することである．研究では既存の光学系の中にレーザ変位計を組み込み，高精度・リアルタイムにステージ位置を測定することで解決を図った．結果，振動環境下でも高精度な測定が可能となった．