リアルタイム３波長ワンショット干渉計測法の開発

抄録

筆者らは、これまでに、キャリア縞導入方式の３波長ワンショット干渉計測法を開発し、測定レンジ４μmまで拡張するとともに、インクジェット方式カラーフィルタ基板用の自動膜厚測定装置を実用化した。本報では、その高さ計算処理の高速化によるリアルタイム表面処理測定技術の開発状況を報告する。