共通光路型点回折干渉計における位相像回復

抄録

共通光路型の点回折干渉計では、ゼロ次回折光を参照光として利用するため、位相シフト法における通常の位相計算では正しい位相像を求めることができない．本研究では、ゼロ次光を参照光に用いる場合の位相回復計算法を提案する．また、ワイヤーグリッド型の偏光ピンホールを用いた位相シフト点回折干渉計を製作し、透明物体の位相像回復を行う．