MEMSミラーデバイスの信頼性のためのSU-8微小構造体の機械特性評価

抄録

現在， MEMSミラーの低コスト化及び大偏向角化が求められている。著者らは、デバイスのトーションバーにフォトレジスト(SU-8)を用いたMEMSミラーを開発している。その信頼性向上には、SU-8の機械特性を徹底評価し、設計に反映させなければならない。本研究では、引張試験，応力緩和試験及び接着強度試験で、SU8の機械特性を系統的に評価した結果を報告する。