ダイヤモンド表面の原子レベル制御（キーノートスピーチ）

抄録

ダイヤモンドのホモエピタキシャル成長を原子レベルで制御することにより、ダイヤモンド表面の原子レベル制御技術を開発した。本技術を用いることにより、ダイヤモンドのステップフリー表面の形成やダイヤモンドナノ構造の作製が可能となった。本技術は、ダイヤモンドデバイス実現のための重要な基盤要素技術の一つである。また、ダイヤモンドナノ構造は究極のナノメトロロジー標準試料への適用が期待される。