無変形冷凍ピンチャックの開発（第４報） 冷凍液凝固温度域における研磨特性

吉冨 健一郎; 宇根 篤暢; 餅田 正秋; 小川 裕司

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.307.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: D46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.307.0

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主催: 社団法人精密工学会

無変形冷凍ピンチャックの開発（第４報）

冷凍液凝固温度域における研磨特性

*吉冨健一郎, 宇根篤暢, 餅田正秋, 小川裕司

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キーワード: 無変形チャック, 冷凍液, 石英ウエハ, 研磨, 低温

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抄録

反りを持つ薄板試料を無変形で保持固定することはきわめて難しい．本研究では冷凍ピンチャックを用いてこれを実現することを目的としている．試料の保持固定には冷凍液を用いるが，使用する冷凍液の凝固には17℃以下が必要であり，一般的な加工よりも低い温度域での加工となる．本報では，スラリ温度を-5°～25°とした場合のセリア砥粒による石英ガラスの研磨特性を調べ，低温時にも十分に加工が進むことを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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