小径低速駆動砥石の送り速さ制御による真直補正加工

抄録

サブミクロン精度の真直面を有する直定規あるいは直線規範を製作することを目標とする。通常の研削加工後、さらに真直度を向上させる方法として、小径砥石端面を低速遊星運動させて加工による熱影響を抑え、工作物の送り速さのみを制御して真直補正加工を行う方法について検討している。