硬X線自由電子レーザー用オートコリレータに用いるSi ビームスプリッタの作製・評価

大坂 泰斗; 矢橋 牧名; 佐野 泰久; 登野 健介; 犬伏 雄一; 佐藤 尭洋; 三村 秀和; 松山 智至; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.511.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: G15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.511.0

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主催: 社団法人精密工学会

硬X線自由電子レーザー用オートコリレータに用いるSi ビームスプリッタの作製・評価

*大坂泰斗, 矢橋牧名, 佐野泰久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤尭洋, 三村秀和, 松山智至, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線自由電子レーザー, プラズマCVM, オートコリレータ

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抄録

現在，高輝度，高空間コヒーレンス，超短パルスという性能を持つX線自由電子レーザーの開発が進んでいる．我々は超短パルスという性質を生かして時間分解研究を行うためのオートコリレータの完成を目指している．本報では格子歪みの除去が可能であるPlasma Chemical Vaporization Machining (PCVM) を用いたSi単結晶ビームスプリッタの作成，評価を行ったので結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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