精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: K32
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共焦点顕微鏡おける反射光強度分布を利用した異常値検出
*原 精一郎岸本 龍馬笹島 和幸
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抄録
本研究は,共焦点顕微鏡の光学的特性に基づいた異常値検出の新しい手法を提案する.異常値と考えられる箇所の高さ方向の光量分布を調べ,その歪みにより異常値が生じていることを示す.そして,理論式による反射光量と計測した光量の分布の強度,およびずれをそれぞれ定量化し,異常値検出の指標とする.実際の測定データに対してこの手法を適用し,共焦点顕微鏡による測定の異常値検出を行うことができることを示す.
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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