シングルプローブの軌道制御による微小導体球の機械的配置操作

奈良 泰彦; 高橋 邦夫; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.881.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: L09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.881.0

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主催: 社団法人精密工学会

シングルプローブの軌道制御による微小導体球の機械的配置操作

*奈良泰彦, 高橋邦夫, 齋藤滋規

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キーワード: マニピュレーション, BGA, 凝着, 微小物体, プローブ, 軌道制御

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抄録

大気中でシングルプローブを用いて基板上に微小導体球を機械的に配置する．その際に意図する物体操作（pickあるいはplace）を実現するために適切な力の方向が存在することが経験的に知られている．本研究では微小球とプローブを2方向から観測し正確な位置決めを行い，意図する物体操作を実現する再現性の高いプローブ先端の軌道を実現する．さらに凝着力と転がり抵抗を考慮した力学モデルにより軌道の妥当性を検証する．

責任著者(Corresponding author)

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