高温対応振動子を用いた超音波アシスト水熱合成法

抄録

超音波アシストを用いた水熱合成法は、非鉛圧電材料やPZT圧電薄膜の合成に有用である。本研究では、超音波照射に用いる振動子の高温対応化によりハイパワーで安定した超音波を得ることで、反応の高速化、高効率化を目指した。キュリー点の高いニオブ酸リチウムを圧電体として用いた振動子を製作し、比較実験によって高温環境に強いことを確認した。