圧電素子の高周波振動による摩擦力制御機構を用いたマイクロロボット

第2報 動作性能の向上

抄録

本研究室では圧電素子を利用したインチワーム駆動によるマイクロロボットの研究を行っている。移動平面とマイクロロボットの間には摩擦が存在するため、移動平面の表面粗さがマイクロロボットの動作へ影響を与える。そこで圧電素子の高速伸縮によるスクイーズ膜効果を利用し摩擦力を制御する。マイクロロボットを浮揚させる事で精密な動作が可能になる。本研究では入力波形とマイクロロボットの動作の関係について報告する。