抄録
現在実現されている高精度、かつ自動制御可能なマニピュレータは１自由度の位置決め機構の積み重ねであり、また部品点数も多い。そのため、他の装置と併用する際に容易に干渉してしまう。本研究ではあらゆる装置に組み込んで使用することを考慮し、駆動部に超極細ワイヤを組み込んだマイクロマニピュレータの開発を行っている。 マニピュレータ上に張られたワイヤの張力を高めることで、ワイヤを保持している機構にはたわみが発生する。これをひずみゲージで計測し、対象物の軌道に補正を行う。 また、３次元での操作を行うための方法として、ピポッド機構により、ニードルを支持し、さらに圧電素子を内蔵させて、多自由度のマイクロマニピュレーションの方法を提案している。 本報告では、試作したワイヤ駆動式マイクロマニピュレータの構成と、その基本性能について述べる。
