ニードル式微少液滴塗布機構におけるニードルの振動特性を用いた塗布ギャップ及び液適塗布量の制御

抄録

高粘度の液体をplオーダーで塗布できるニードル式微少液滴塗布機構では、ニードルの先端と塗布面との距離である塗布ギャップの変化によって、液滴の塗布量にばらつきが生じてしまう。そこで積層型圧電素子、板ばねを用いてニードルに微小振動を与え、その振動特性変化からニードル先端の液適と塗布面との接触・非接触を判別する手法を提案している。本報告では、提案手法を用いた塗布ギャップ及び液滴塗布量の制御について述べる。