アレイ型ステータ振動子を用いた浮揚物体の移送制御（第1報） 移送と位置決めの実験的検討

矢野 龍人; 青柳 学; 田村 英樹; 高野 剛浩

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.933.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: M13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.933.0

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主催: 社団法人精密工学会

アレイ型ステータ振動子を用いた浮揚物体の移送制御（第1報）

移送と位置決めの実験的検討

*矢野龍人, 青柳学, 田村英樹, 高野剛浩

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キーワード: 近距離場音波浮揚, 音響放射圧, 保持力, 位置決め, 非接触ステッピング超音波モータ, 振動振幅

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抄録

近距離音波浮揚において浮揚物体に水平に働く保持力を用いて，複数並べられた振動板を浮揚物体が乗り継ぎそれぞれの振動板上で保持することによる位置決め方法を考案した．この動作は非接触ステッピング超音波モータ（NCS-USM）への応用が可能である．試作・実験により，隣接した振動板の振動振幅の差を1.57倍以上にし，浮揚物体の長さを振動板の幅の1.07～1.20倍にすることで浮揚物体の位置決めが実現できた．

責任著者(Corresponding author)

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