圧電振動摩擦力制御による駆動機構の高速間欠駆動

角度フィードバック制御特性評価

抄録

圧電素子の高周波振動を利用した摩擦力制御によって高速間欠駆動を行う駆動機構において、従来構成を見直したコギングレス駆動機構での角度フィードバック制御特性評価結果について報告する。位置決め精度と静止時安定性の実験結果から、高速高精度アクチュエータとしての駆動性能を明らかにする。