ナノパルス援用熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド膜の合成及び特性評価

前田 英俊; 浅野 禎介; 望月 佳彦; 大竹 尚登

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.311.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.311.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ナノパルス援用熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド膜の合成及び特性評価

*前田英俊, 浅野禎介, 望月佳彦, 大竹尚登

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キーワード: ダイヤモンド, CVD, ナノパルス

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抄録

ダイヤモンドは機械的特性を有しており, その特性を生かして切削工具等へのコーティングが試みられている. しかし, 合成時の基板温度が約800℃と高いことや, 均一に成膜するのが難しいことが問題となっている. これらの問題を解決するため本研究では, 従来の熱フィラメントCVD法にナノパルスを援用し, ダイヤモンド膜の低温合成を試みるとともに, フィラメント配置によるダイヤモンドの特性を評価する.

責任著者(Corresponding author)

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