大気圧プラズマエッチングを用いたブラッグビームスプリッタの作製

大坂 泰斗; 矢橋 牧名; 佐野 泰久; 登野 健介; 犬伏 雄一; 佐藤 堯洋; 松山 智至; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.415.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: F13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.415.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

大気圧プラズマエッチングを用いたブラッグビームスプリッタの作製

*大坂泰斗, 矢橋牧名, 佐野泰久, 登野健介, 犬伏雄一, 佐藤堯洋, 松山智至, 石川哲也, 山内和人

著者情報

キーワード: X線自由電子レーザー, ブラッグ反射, ビームスプリッタ, オートコリレータ, PCVM

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

近年運転が開始された，超高輝度，空間的にフルコヒーレント，フェムト秒超短X線パルスを供給可能な光源であるX線自由電子レーザー (XFEL) を用いることで，フェムト秒オーダーの時分割測定が可能になると期待されている．我々はXFELの分割・遅延ユニットであるオートコリレータに必須なビームスプリッタを，大気圧プラズマを用いたエッチング手法であるPlasma Chemical Vaporization Machiningによって作製した．本発表では，作製した素子の評価結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）