抄録
複雑な自由曲面の光学素子を高精度に作製するためには、表面平滑性を維持しながら、高い分解能での加工が必要となる。本研究では、ノズル型EEM(Elastic Emisson Machining)において加工分解能を決定するスポット加工の微小化を行った。マイクロEDM(Electrical Discharge Machining)を用いて作製した直径60μmの微細穴をノズルとして用いることで、直径100μmサイズの微小スポット加工を実現している。本発表では、各種加工条件における除去レート、加工痕形状、表面粗さなどについて詳細に報告する。
