二重螺旋形状のMEMS粘性センサの変形解析

チェ スンチョル; 山本 泰之; 松本 壮平; 山本 智子

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.751.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: K33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.751.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

二重螺旋形状のMEMS粘性センサの変形解析

*チェスンチョル, 山本泰之, 松本壮平, 山本智子

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キーワード: MEMS粘性センサ, 二重螺旋形状, 変形, 有限要素法

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抄録

二重螺旋形状を有する振動式MEMS粘性センサを開発している．この粘性センサは， MEMS加工プロセスを用いてシリコンウェハーに細溝を貫通させて分離した2つの螺旋形状を有する振動体と感力体で構成されている．二重螺旋形状のねじれやたわみ挙動は，センサの信頼性に影響を与える原因になるので，有限要素法によるシミュレーションを用いてそれらの変形による影響を明らかにした．その結果はMEMS粘性センサの加工プロセスに活用した．

責任著者(Corresponding author)

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