加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性

江頭 峻輝; 土肥 俊郎; 黒河 周平; 大西 修; 畝田 道雄; 越山 勇; 市川 大造

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.81.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: A83

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.81.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性

*江頭峻輝, 土肥俊郎, 黒河周平, 大西修, 畝田道雄, 越山勇, 市川大造

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キーワード: CMP, 難加工材料, Bell-Jar

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抄録

本研究では，研磨装置全体を耐圧密閉チャンバーで覆った加工雰囲気を制御可能なBell-Jar型CMP装置を用いて難加工材料（サファイア，GaN）の加工を行い，加工メカニズムを追求しつつ雰囲気の影響に着目して高加工レート，良加工面が得られる加工条件を見出すことを目的としている．本報では，耐圧密閉チャンバー内の雰囲気の性質（気体種，気圧）が加工レートに及ぼす影響について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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