低周波振動テーブルの試作とそれによる振動援用研磨効果

抄録

微細構造を持つ金型の研磨のために、水平２方向振動ができる低周波振動テーブルを開発し、それによる低周波援用研磨の基礎検討を行い、金型材料の低周波振動研磨特性が得られたので、その結果を報告する。