超解像処理を用いた画像処理計測技術

抄録

本研究では検査装置において複数の低解像度画像から十分な解像度を持つ高解像度画像を生成する超解像処理の適用により高精度化と自動化を目標としている。検査装置において検査を安定に行うためには、検査感度を向上させる必要がある。そこで、本論文において高解像度画像と同時にノイズ成分を推定することにより、ノイズを低減させる超解像処理を提案し、提案手法を実装した場合の欠陥検査性能について報告する。