位相変調電気光学素子を用いた光干渉計と光学式エンコーダの補間法

倉島 貴大; 上杉 修平; 明田川 正人

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1011.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: M16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1011.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

位相変調電気光学素子を用いた光干渉計と光学式エンコーダの補間法

*倉島貴大, 上杉修平, 明田川正人

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キーワード: 電気光学素子, 位相変調, 干渉計, 光学式エンコーダ

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抄録

光干渉計や光学式エンコーダでは波長あるいは回折格子ピッチ以下の変位を決定する補間プロセスに誤差が混入するという欠点がある．本研究では電気光学素子による位相変調を干渉縞信号に加え，同期検波を用いて原理的に誤差のない補間法を光干渉計，光学式エンコーダに適用した．同期検波の複調からそれぞれ90°異なる2個の正弦波を得，方向弁別と位相補間を可能にする．

責任著者(Corresponding author)

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