pm分解能非接触変位計

抄録

非接触で非測定物からの反射光を使用し距離を測定する技術としては、レーザ変位計や、光ファイバー変位計などがよく知られているが、分解能を上げると測定距離が限られていた。これに対し、被測定物にミラー等を取り付けて光波干渉計を組む方法もあるが、測定距離が長くなると大型の波長安定化レーザを使用する必要があった。本報告では、半導体レーザを用いた、ｐｍ分解能を有する格子干渉計型非接触変位計について報告する。