複数波長統合型局所モデル適合法による光干渉表面形状測定

抄録

局所モデル適合（LMF）法は，1枚の光干渉画像からナノスケールの表面形状を精度良く推定できる手法である．しかし，水平分解能を高めるために局所領域を小さく取ると，LMF法は雑音の影響を受けやすい．そのため，得られた複数波長の位相を用いて合致法を行う際に，次数が誤って推定されてしまう．そこで，波長ごとの適合を行わず，全波長データに対して一括適合する複数波長統合型LMF法を提案し，有効性を実験的に示す．