精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: M34
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輻射熱分光イメージングにおける物体構造由来の吸光特性モデル
*鈴木 陽斉 威鍵山 紘康石丸 伊知郎
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抄録
計測物体自体の熱から発せられる輻射熱の分光イメージングにおいて,その分光吸光特性へ及ぼす物質構造由来の光学的熱特性に関して検討を行った.ここでは,基板表面に付着した微物と内部に大きく分類し,内部に関しては深さをパラメータにして,中赤外分光吸光特性への影響度をモデル化した.特に,環境計測時には,水を含む物体の計測が重要となることから,中赤外領域で顕著な吸収を示す水の影響度についても検討を行った.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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