SEM内微細操作のためのマニピュレーションシステム（第2報）

マニピュレーションシステムの性能評価と微細操作実験

抄録

走査型電子顕微鏡（SEM）内において微細操作を行うには、多自由度のマニピュレーションツールが適している。また、ノイズの発生を防ぐため、非磁性のアクチュエータを用いる必要がある。そこで、前報で述べた微細操作用の把持ツールを載せ、SEM内での移動を行うための多自由度の精密ステージの設計・試作を行った。また、開発したマニピュレーションシステムの性能評価と、それを用いたSEM内での微細操作実験について述べる。