硬X線集光用形状可変ミラーの開発 SPring-8での集光特性評価

松山 智至; 中森 紘基; 今井 将太; 横山 光; 木村 隆志; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1153.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1153.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

硬X線集光用形状可変ミラーの開発

SPring-8での集光特性評価

*松山智至, 中森紘基, 今井将太, 横山光, 木村隆志, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線ミラー, 形状可変ミラー, X線集光, X線顕微鏡

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抄録

X線集光用形状可変ミラーは，形状を変形させることで光学パラメータ（焦点距離，開口数，入射角）を実験に応じて最適化させることできる集光素子である．本研究では，圧電素子をガラス基板に貼り付けた形状可変ミラーを開発し，形状誤差1nmレベルで自由曲面を創り出すことを目指している．SPring-8において開発した形状可変ミラーの集光特性を評価したので，その結果について詳細に報告する．

責任著者(Corresponding author)

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