セミクローズドループによる空気静圧送りねじステージの精密位置決めの基礎検討

抄録

空気静圧送りねじステージは、バックラッシュもヒステリシスもないので、回転運動を直進運動に変換でき、精密な回転運動の実現により精密なステージの位置決めを実現可能である。高速のサンプリング制御が可能な制御装置を開発し、空気静圧送りねじステージの精密位置決めをセミクローズトループ制御で実現した。その結果、１０pulseステップの位置決め制御を実現した。長ストロークの移動についても検討した。