紫外線励起加工の研究（U-RAM）-（第12報）

紫外線により励起された光触媒と蛍光材料によるカップ型ニッケル円管の内外面の研磨現象の検証

抄録

光触媒と蛍光材料に紫外線を照射し，電子と正孔の対を生成させ，それらの還元・酸化反応を材料の加工に用いようと試みてきた．微小ニッケル円管の内外面の同時研磨で，光触媒の濃度が大きいほど機械研磨は大きいこと，蛍光材料の濃度が大きいほど化学研磨は多いこと，研磨パッドが硬いほどより研磨されやすいこと，紫外線をかけないとき研磨は進まないこと，また，スラリーのpHが研磨時間と共に減少することなどを明らかにした．