有限要素法を用いた応力解析によるTiNi形状記憶合金薄膜の結晶成長予測

尾崎 秀次; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.57.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: A39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.57.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

有限要素法を用いた応力解析によるTiNi形状記憶合金薄膜の結晶成長予測

*尾崎秀次, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 形状記憶合金, 有限要素法, バッファ層

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抄録

著者らはスパッタリング法により創製したTiNi形状記憶合金を駆動部に用いたマイクロポンプの開発を行っている．創製した薄膜は特に発生力の高い(110)結晶面方位を成長させ，形状記憶特性等の点で結晶粒径の大きなものが求められる．この(110)面を成長させるため，バッファ層により薄膜に生じた歪みと結晶成長の関係を有限要素法を用いて考察することでTiNi(110)を成長させるために必要な条件を検討する．

責任著者(Corresponding author)

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