石英ガラス研削におけるき裂深さに関する研究

抄録

石英ガラスの研削面には無数のき裂が存在し、ラッピング・ポリッシングといった後工程や製品の信頼性に影響を与えるため、表面粗さのみならず加工面品位の向上が求められている。また、研削におけるき裂深さと表面粗さとの関係は明らかにされていない。本研究では、加工現場で粗・中・仕上げと研削加工が進行する中でのき裂深さの進展および表面粗さとの関係についての評価を行った。