マイクロマシン/MEMSの開発（キーノートスピーチ）

抄録

本報では，マイクロマシン／MEMSについて，開発の歴史を概観し，開発されたマイクロマシンを，通常の大きさの機械の定義であるルーローの定義に当てはめ，その差違を検討した．また，マイクロマシンの定義の変遷を考察し，通常の機械を設計製作する上で共通の部品となる機械要素，機構，組立/加工工具について，これに対応するマイクロ機械要素・機構・工具の開発状況を検討し，今後のマイクロマシンの開発を方向を考察した．