液晶ディスプレイ製造工程における微細パターン自動修正技術

抄録

液晶ディスプレイの低価格化を実現するためには液晶製造工程の歩留まり向上が重要であり、製造途中に発生する欠陥を修正して良品とするリペア技術が必要不可欠となってきている。リペア工程は修正の良否判定に人間の判断が必要なため自動化が困難とされてきたが、欠陥に特化した画像処理アルゴリズムの開発により自動化を可能とし、リペア工程の高効率化、省人化を実現した。本講演では、この自動修正技術に関して説明する。